Penubuhan Ma’had ini bermula pada sesi pengajian 1993/94. Ia dikendalikan di bawah pentadbiran Sekolah Menengah Islam Hira’ di Kampung Batu Belah. Klang. Sebagai sebuah projek perintis di samping keterbatasan tempat, maka pengambilan pertama hanya melibatkan enam orang pelajar lulusan PMR dan sebuah bilik darjah. Ketika itu ia dikendalikan hanya oleh seorang tenaga pengajar sepenuh masa.

Pada tahun 1997 Ma’had Tahfiz ini dipindahkan kesebuah bangunan yang lebih sesuai atas kebenaran seorang dermawan di Kampung Kubung Gajah, Sg. Buloh Selangor dan dikendalikan di bawah pengurusannya sendiri oleh kerana bertambahnya bilangan murid dan gurunya.

Dengan pengambilan pelajar terhad, Ma'had ini telah berjaya melahirkan 10 orang huffaz yang melanjutkan pelajaran di Sekolah Menengah Islam Hira’. Dan sebahagiannya telah pun melanjutkan pelajaran di institusi pengajian tinggi.

Pada tahun 1999, Ma’had Tahfiz Hira’ telah mempunyai 2 orang tenaga tahfiz sepenuh masa untuk mengendalikan 2 buah kelas hafazan yang terdiri daripada 30 orang pelajar dan 3 orang guru sambilan untuk pelajaran Akademik dan Dinniyyah

Syukur kehadrat Ilahi dengan keizinanNya Ma’had Tahfiz kini beroperasi di tapak dan bangunan baru di Mukim Jeram Daerah Kuala Selangor. Selangor Darul Ehsan